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光刻机最核心的光源有了科益虹源135nm光源即将实现
发布时间:2022-01-13        浏览次数: 次        

  前段时间有个院士,啵啵的说了一大堆,意思就是我们自己没能力做出来,现在关键的13.5nm光源搞出来了,这个光源可不是用在14nm芯片制造上的,14nm制程是193nm光源,13.5nm光源起步就是6.25纳米的,如果多次曝光可以实现3nm或者更先进的制程。

  目前,台积电5nm制程就是用的ans13.5nm光源刻的。难怪阿斯麦CEO担心我们以后再也不需要他的光刻机,现在我们自己搞出了极紫外光源就是最好的证明了。别还不信,以前光刻机的光源部分一直都是美国垄断,现在我们也有了。

  前段时间有个吴汉民院士,说光靠一个国家,一个地区做出极紫外光刻机不现实,光刻机有10万个零部件,言下之意就是国内企业永远做不出光刻机。这厮貌似专家,实则洋奴买办出身,他却不知所谓10万个零部件多数是螺丝螺栓之类的东西,他之所以说这么无脑的外行话,就是想吓唬自己。

  现在看不是我们做不出来光刻机,而是想我们不能做出来的人太多了,如果国产光刻机突破到10nm以内了,ASML和台积电都得凉了。

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